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干式澳门威尼斯官网泵的优点

发布时间:2021-11-18浏览:844次

目前各种澳门威尼斯官网泵的发展愈来愈受到澳门威尼斯官网应用场合的影响,一般传统的澳门威尼斯官网泵系统已无法满足清洁无油、耐腐蚀、耐可凝性蒸汽以及能在恶劣的工况下运行的需要,因此近几年来干式澳门威尼斯官网泵发展很快,澳门威尼斯官网获得产品出现了更新换代的局面。

 

干式澳门威尼斯官网泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式澳门威尼斯官网泵同等量级或者接近的机械澳门威尼斯官网泵

 

干式澳门威尼斯官网泵的优点:

成本低:不耗油,无滴漏

稳定性:干式澳门威尼斯官网泵的性能稳定,噪音低,故障率低,因此减少维修成本。

适应力强:工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层,可适应恶劣工况


应用广泛

干式机械澳门威尼斯官网泵的应用范围

 

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希翼微粒混入泵油中,而希翼微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械澳门威尼斯官网泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式澳门威尼斯官网泵;

5)用做一般无油清洁澳门威尼斯官网系统的前级泵,以防止油污染。

 

干式澳门威尼斯官网泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,得到越来越多制造和应用单位的重视,日本坚山KASHIYAMA工业株式会社,多年来致力于澳门威尼斯官网技术的研究,不断开发进取,在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域,获得了客户的高度评价与信赖。


 

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